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真空晶圓磨拋機(jī)是半導(dǎo)體制造中提升表面平整度、去除損傷層的關(guān)鍵設(shè)備,其性能直接影響芯片良率與可靠性。以下從核心技術(shù)參數(shù)、工藝適配性、自動(dòng)化程度、可靠性及服務(wù)五大維度梳理選購(gòu)要點(diǎn)。一、核心技術(shù)參數(shù)——決定基礎(chǔ)性能1.真空度與穩(wěn)定性:腔室極限真空需≤1×10?3Pa,且具備快速抽氣能力(從大氣壓到工作真空2.壓力控制精度:動(dòng)態(tài)壓力波動(dòng)應(yīng)3.主軸轉(zhuǎn)速與扭矩:覆蓋寬范圍調(diào)速(如50–500rpm),高速模式用于粗磨提升效率,低速精細(xì)拋光保障均勻性;電機(jī)扭矩需匹配高負(fù)載工況,防止卡頓導(dǎo)致...
顯微維氏硬度計(jì)是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)和工程領(lǐng)域的硬度測(cè)試儀器,特別適用于精細(xì)材料和小尺寸樣品的硬度測(cè)試。維氏硬度是通過(guò)測(cè)量材料在施加一定負(fù)載下,由一個(gè)金剛石四面金字塔形壓頭產(chǎn)生的壓痕的對(duì)角線長(zhǎng)度來(lái)表征材料硬度的一種方法。相較于傳統(tǒng)的布氏和洛氏硬度計(jì),具有較高的測(cè)試精度和較小的測(cè)試區(qū)域,尤其適用于細(xì)小或表面處理過(guò)的樣品的硬度測(cè)試。顯微維氏硬度計(jì)的結(jié)構(gòu)組成:1.金剛石壓頭金剛石四面金字塔形壓頭是核心部分,它的幾何形狀是呈四面金字塔形,每個(gè)角度為136°,其硬度非常高,能夠在施加...
維氏硬度的由來(lái)維氏硬度計(jì)的發(fā)明人是英國(guó)的史密斯(R.L.Smith)和塞德蘭德(G.E.Sandland)。他們于1921年提出了維氏硬度試驗(yàn)方法,隨后英國(guó)的維克斯—阿姆斯特朗(Vickers-Armstrong)公司試制了第一臺(tái)以此方法進(jìn)行試驗(yàn)的硬度計(jì):在硬度計(jì)的日常使用中,由于操作方法、設(shè)備狀態(tài)或環(huán)境因素等影響,常會(huì)出現(xiàn)一些問(wèn)題。以下是最常用的5個(gè)問(wèn)題及對(duì)應(yīng)的解決方案:01測(cè)量結(jié)果偏差大(同一位置多次測(cè)量值差異明顯)可能原因:試樣表面不平整、有油污或氧化層,影響壓力傳導(dǎo)。...
維氏硬度計(jì)結(jié)果不準(zhǔn)確可能由設(shè)備狀態(tài)、操作規(guī)范、環(huán)境因素或樣品處理等問(wèn)題導(dǎo)致。以下是系統(tǒng)性解決方案,涵蓋設(shè)備檢查、校準(zhǔn)、操作優(yōu)化等多個(gè)方面:一、設(shè)備狀態(tài)檢查與校準(zhǔn)1.機(jī)械部件檢查-外觀與連接:檢查機(jī)身是否有損壞,電源線、數(shù)據(jù)線是否接觸良好。-加載系統(tǒng):通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)砝碼校驗(yàn)加載力,若偏差超±1%需調(diào)整或維修。-壓頭狀態(tài):金剛石壓頭若磨損(如棱角圓鈍)需立即更換,否則會(huì)導(dǎo)致壓痕面積偏差。-水平調(diào)節(jié):使用水平儀確保儀器水平放置,避免因傾斜導(dǎo)致受力不均。2.光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)-物鏡...
電動(dòng)洛氏硬度計(jì)是用于測(cè)試材料硬度的重要設(shè)備,廣泛應(yīng)用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室中。洛氏硬度測(cè)試是一種通過(guò)壓痕法來(lái)測(cè)量材料硬度的常用方法,而洛氏硬度計(jì)則通過(guò)電動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)提供穩(wěn)定和精確的測(cè)試操作。洛氏硬度測(cè)試包括幾個(gè)步驟:1.施加預(yù)載荷:在測(cè)試開(kāi)始時(shí),洛氏硬度計(jì)會(huì)先施加一個(gè)輕載荷,通常為10公斤,以確定材料的基準(zhǔn)。2.施加主載荷:在預(yù)載荷作用下,測(cè)試儀器會(huì)施加更大的主載荷(如60公斤、100公斤或150公斤,具體取決于硬度計(jì)的型號(hào)和測(cè)試要求)。3.卸載并測(cè)量壓痕深度:當(dāng)主載荷作用結(jié)束后,硬度...
金相電解拋光腐蝕儀是金屬材料分析領(lǐng)域中非常重要的設(shè)備,主要用于金屬樣品的拋光和腐蝕過(guò)程。拋光是通過(guò)電解反應(yīng)去除材料表面的微觀不平整區(qū)域,而腐蝕則是為了顯現(xiàn)金屬的組織結(jié)構(gòu)。該儀器通過(guò)電解原理,利用電流作用于樣品表面,來(lái)實(shí)現(xiàn)金屬樣品的光滑處理和組織顯現(xiàn)。它廣泛應(yīng)用于金屬材料的顯微組織分析、表面質(zhì)量檢測(cè)、材料斷裂分析等領(lǐng)域。金相電解拋光腐蝕儀的組成結(jié)構(gòu):1.電源單元:電源單元是該儀器的核心部分,負(fù)責(zé)提供穩(wěn)定的電流源,確保電解過(guò)程的順利進(jìn)行。通常電源的輸出可以調(diào)節(jié),以適應(yīng)不同材料和不...
電子布氏硬度計(jì)的工作原理基于布氏硬度測(cè)試方法。其基本測(cè)試過(guò)程是:在被測(cè)材料表面施加一定的力,通常是通過(guò)一個(gè)硬質(zhì)鋼球或合金球,以一定的載荷壓入材料表面,并保持一定時(shí)間。然后,通過(guò)測(cè)量球壓入的深度和球的直徑來(lái)計(jì)算硬度值。電子布氏硬度計(jì)具體工作過(guò)程:1.施加壓力:使用伺服系統(tǒng)或電動(dòng)機(jī)來(lái)精確控制施加的壓力。常見(jiàn)的載荷范圍從500公斤到3000公斤不等。2.壓痕形成:硬質(zhì)球被壓入待測(cè)物體表面,形成一個(gè)印痕。內(nèi)置的電子傳感器能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)載荷的變化和壓痕的深度。3.自動(dòng)測(cè)量和計(jì)算:與傳統(tǒng)布...
金相試樣拋光機(jī)的效率與多個(gè)因素密切相關(guān),其綜合作用決定了試樣表面處理的速度和質(zhì)量。以下從設(shè)備參數(shù)、拋光介質(zhì)、試樣特性、操作工藝及環(huán)境控制等方面展開(kāi)分析:一、設(shè)備參數(shù)對(duì)效率的影響1.轉(zhuǎn)速與拋光盤直徑-拋光盤轉(zhuǎn)速直接影響切削速率。轉(zhuǎn)速越高,磨料與試樣的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度越快,單位時(shí)間內(nèi)去除的材料越多。但轉(zhuǎn)速過(guò)高可能導(dǎo)致試樣表面過(guò)熱,引發(fā)氧化或變形,反而需降低效率以修復(fù)損傷。-拋光盤直徑越大,線速度越高,適用于大面積試樣的快速處理,但需匹配更高的功率以避免電機(jī)過(guò)載。2.壓力控制系統(tǒng)-施加...
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